产品名称:四氟化碳|CF4
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产品纯度:99.99~99.999%
包装说明: 47L DOT钢瓶,钢瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材质阀门,阀门型号CGA660;40L高压无缝钢瓶,净重30kg/瓶,瓶头阀是铜质阀门是QF-2,出口螺纹是G5/8
产品说明: 四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体,充装于四氟化碳钢瓶中,饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量较大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于四氟化碳的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基乙酯。
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